專業的溫度管控，分別管控RT~1000℃與1000℃以上溫度
更持久的高溫持溫能力，1000℃持溫可達30min
穩定的1250℃控溫能力
超高的溫度精確度：溫度精度可達±1℃
強大的溫場管控能力：溫度均勻度≤±1%
優秀的溫度重復性：溫度重復性≤±2℃
ITO鍍膜后的退火制程
離子注入后的退火制程
合金化退火制程
以及更多的快速退火制程能力
專業的TC Wafer測溫系統為RTP制程提供精確控溫保障
成熟測溫系統軟件，具備Mapping功能，溫度情況一目了然
多尺寸wafer可供選擇，滿足客戶不同wafer尺寸控溫要求
廣東瑞樂半導體科技有限公司
Guangdong Ruile Semi technology Co.,Ltd
瑞樂科技成立于2016年，主營業務為半導體前道晶圓制造制程設備的開發、制造。公司主要產品為快速退火爐與TC Wafer晶圓測溫系統。公司的解決方案包括創新的控溫與檢測設備及生產工藝、控制軟件和服務。公司總部位于廣東省佛山市南海區萬洋眾創城。
瑞樂科技專注于晶圓控溫及檢測系統，以是一家高精度溫度系統方案供應商。為IC集成電路及化合物半導體、MEMS芯片、LED芯片等特色工藝客戶提供設備服務。
瑞樂科技以創新、專注、誠信正直、團隊合作等核心價值觀，深耕于半導體設備行業，一直致力于為國家半導體設備及控溫技術國產化做出貢獻。
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